»ï¼ºÀüÀÚ È¼º ¹ÝµµÃ¼ ÆÄ¿îµå¸®»ç¾÷Àå EUV(±ØÀڿܼ±) V1 »ý»ê¶óÀÎ./»çÁøÁ¦°ø=»ï¼ºÀüÀÚ |
2ÀÏ ½ÃÀåÁ¶»ç¾÷ü Æ®·»µåÆ÷½º¿¡ µû¸£¸é ¿ÃÇØ 2ºÐ±â Àü ¼¼°è ÆÄ¿îµå¸® ½ÇÀû ±âÁØ »óÀ§ 10°÷ÀÇ ¸ÅÃâ ÇÕ°è´Â Á÷Àü ºÐ±â ´ëºñ 6.2% Áõ°¡ÇÑ 244¾ï700¸¸´Þ·¯(¾à 28Á¶2511¾ï¿ø)·Î Áý°èµÆ´Ù.
±Û·Î¹ú ÆÄ¿îµå¸® ½ÃÀåÀº 2019³â 3ºÐ±âºÎÅÍ 8ºÐ±â° ¸ÅÃâ ÃÖ´ë ±Ô¸ð¸¦ °æ½ÅÇÏ°í ÀÖ´Ù. Æ®·»µåÆ÷½º´Â º¸°í¼¸¦ ÅëÇØ "Äڷγª19 ÆÒµ¥¹Í ÀÌÈÄ ¾÷°è Àü¹Ý¿¡¼ 5G Åë½ÅÀ¸·ÎÀÇ Àüȯ, ÁöÁ¤ÇÐÀû À̽´, ¸¸¼ºÀûÀÎ °ø±ÞºÎÁ· µîÀÇ ¿äÀÎÀ¸·Î 2ºÐ±â¿¡µµ ¹ÝµµÃ¼ 'ÆдР¹ÙÀ×'ÀÌ À̾îÁ³´Ù"°í ¸»Çß´Ù.
¾÷üº°·Î »ìÆ캸¸é ÆÄ¿îµå¸® ½ÃÀå 1À§ ¾÷üÀÎ ´ë¸¸ TSMC´Â 2ºÐ±â¿¡ 133¾ï´Þ·¯ÀÇ ¸ÅÃâÀ» ¿Ã·È´Ù. Àü ºÐ±âº¸´Ù 3.1% Áõ°¡ÇÑ ±Ô¸ð´Ù. ´Ù¸¸ TSMCÀÇ ¸ÅÃâ ±âÁØ Á¡À¯À²Àº 2ºÐ±â¿¡ 52.9%·Î Á÷Àü ºÐ±â 54.5%º¸´Ù 1.6%p(Æ÷ÀÎÆ®) ¶³¾îÁ³´Ù. Áö³ 4¿ù P7ÆÕ¿¡¼ ¹ß»ýÇÑ Á¤ÀüÀ¸·Î 40(§¬(³ª³ë¹ÌÅÍ¡¤1nm´Â 10¾ïºÐÀÇ 1m) ¿Í 16³ª³ë °øÁ¤ÀÇ ÀϺΠ¿þÀÌÆÛ°¡ Æó±âµÈ ¿µÇâÀ¸·Î ºÐ¼®µÈ´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â ¿ÃÇØ 2ºÐ±â ÆÄ¿îµå¸® ¸ÅÃâ 43¾ï3000¸¸´Þ·¯·Î 2À§¸¦ Â÷ÁöÇß´Ù. ¸ÅÃâÀº Á÷Àü ºÐ±âº¸´Ù 5.5% Áõ°¡ÇßÀ¸³ª ½ÃÀå Á¡À¯À²Àº 17.3%·Î 1ºÐ±â ´ëºñ 0.1%p ¶³¾îÁ³´Ù. »ï¼º ¿ª½Ã ¿ÃÇØ ÃÊ ¹Ì±¹ ¿À½ºÆ¾ °øÀåÀÌ Æø¼³·Î °¡µ¿ Áß´ÜµÈ ¿µÇâÀ» ¹ÞÀº °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ. Àü¸é º¹±¸´Â 4¿ùÂë ÀÌ·ïÁø °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù.
±Û·Î¹ú ÆÄ¿îµå¸® ½ÃÀå »óÀ§ 10°³ ¾÷ü ºÐ±â ¸ÅÃâ, Á¡À¯À² ÃßÀÌ./»çÁø=Æ®·»µåÆ÷½º ȨÆäÀÌÁö ĸó |
¾÷°è¿¡¼´Â ÆÄ¿îµå¸® ½ÃÀåÀÇ ¼ºÀåÀÌ 3ºÐ±â ÀÌÈķεµ Áö¼ÓµÉ °ÍÀ¸·Î º¸°í ÀÖ´Ù. ¼ö¿ä°¡ °ø±ÞÀ» ÃÊ°úÇÏ´Â »óȲÀÌ °è¼Ó À̾îÁö°í Àֱ⠶§¹®ÀÌ´Ù. Æ®·»µåÆ÷½º´Â "ÁÖ¿ä ÆÄ¿îµå¸® ±â¾÷µéÀÌ »ý»ê½Ã¼³ °¡µ¿·üÀ» 100£¥·Î À¯ÁöÇÏ°í ÀÖÀ¸³ª ¼ö¿ä¿¡ ¸ø ¹ÌÄ¡°í ÀÖ´Ù"¸ç "3ºÐ±â ÆÄ¿îµå¸® ½ÃÀå ¸ÅÃâÀº ¶Ç´Ù½Ã ÃÖ´ëÄ¡¸¦ °æ½ÅÇÒ °Í"À̶ó Àü¸ÁÇß´Ù.
¿©±â¿¡ ÆÄ¿îµå¸® ±â¾÷µéÀº ÃÖ±Ù °¡°ÝÀ» ÀλóÇÏ¸ç ¼öÀͼºÀ» ³ôÀÌ°í ÀÖ´Ù. ´ë¸¸ ¸Åü ÀÚÀ¯½Ãº¸¿¡ µû¸£¸é TSMC´Â ÃÖ±Ù ¿þÀÌÆÛ °¡°ÝÀ» ÃÖ´ë 20% ¿Ã¸®°Ú´Ù°í °ü·Ã ±â¾÷¿¡ Å뺸Çß´Ù. ´ÜÀÏ ÀλóÀ¸·Î´Â ¿ª´ë ÃÖ´ëÀÇ Àλó ÆøÀÌ´Ù. ÀÌ¿Ü¿¡µµ ¹Ì±¹ ±Û·Î¹úÆÄ¿îµå¸®, Áß±¹ SMIC µîÀÇ °¡°Ý ÀÎ»óµµ ÀÕµû¸£°í ÀÖ´Ù.
»ï¼ºµµ ¿Ã ÇϹݱ⿡ ÆÄ¿îµå¸® °¡°ÝÀ» 15~20% ÀλóÇÒ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù. »ï¼ºÀº ÃÖ±Ù 2ºÐ±â ½ÇÀû¹ßÇ¥¿¡¼ "ÆÄ¿îµå¸® °ø±Þ °¡°Ý Çö½Çȸ¦ °¡¼ÓÈÇÏ°Ú´Ù"°í ¿¹°íÇÑ ¹Ù ÀÖ´Ù. ±×·¯¸é¼ "¿ÃÇØ ÆÄ¿îµå¸® ¸ÅÃâÀÌ Àü³â ´ëºñ 20% ³Ñ°Ô Áõ°¡ÇÒ °Í"À̶ó ¹àÇû´Ù.
½ÃÀå¿¡¼´Â 3ºÐ±âºÎÅÍ °¡°ÝÀ» Æ÷ÇÔÇØ ¼ö·®°ú ¿ø°¡ µîÀÌ µ¿½Ã¿¡ °³¼±µÇ¸ç »ï¼º ºñ¸Þ¸ð¸® »ç¾÷ºÎÀÇ ¼öÀͼºÀÌ Å« ÆøÀ¸·Î °³¼±µÉ °ÍÀÌ¶ó º¸°í ÀÖ´Ù. ±èµ¿¿ø KBÁõ±Ç ¿¬±¸¿øÀº "¿ÃÇØ 2ºÐ±â 2000¾ï¿ø ¼öÁØÀÎ »ï¼ºÀüÀÚ ºñ¸Þ¸ð¸® »ç¾÷ºÎÀÇ ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀÌ ³»³â¿¡´Â ºÐ±â Æò±Õ 1Á¶¿ø¿¡ ±ÙÁ¢ÇÒ °ÍÀ¸·Î ÃßÁ¤µÈ´Ù"°í ¸»Çß´Ù.
ÀÌÀç¿ë »ï¼ºÀüÀÚ ºÎȸÀåÀÇ º¹±Í·Î ÅõÀÚ¿¡µµ ¼Óµµ°¡ ºÙÀ» °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ. Áö³´Þ 24ÀÏ »ï¼º±×·ìÀº 240Á¶¿ø ±Ô¸ðÀÇ ÅõÀÚ°èȹÀ» ¹ßÇ¥ÇÏ¸é¼ ½Ã½ºÅÛ ¹ÝµµÃ¼ ºÎ¹®¿¡¼ "¼±´Ü °øÁ¤À» Àû±â¿¡ °³¹ßÇÏ°í Çõ½Å Á¦Ç° °æÀï·ÂÀ» È®º¸ÇØ ±Û·Î¹ú 1À§·Î µµ¾àÇÒ °èȹ"À̶ó ¹àÇû´Ù. ¹Ì±¹ Á¦2 ÆÄ¿îµå¸® °øÀå Áõ¼³À» ºñ·ÔÇØ ½Ã½ºÅÛ ¹ÝµµÃ¼ ºÎ¹®¿¡¼¸¸ ÇâÈÄ 3³â°£ ÃÖ¼Ò 50Á¶¿ø ÀÌ»óÀÌ ÅõÀ﵃ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÇ°í ÀÖ´Ù.
ƯÈ÷ GAA(°ÔÀÌÆ®¿Ã¾î¶ó¿îµå) µî ½Å±â¼úÀ» Àû¿ëÇØ 3³ª³ë ÀÌÇÏ Á¦Ç° ¾ç»êÀ» ¾Õ´ç±æ °ÍÀ̶ó´Â ¾ð±Þ¿¡ ´ëÇØ ¾÷°è°¡ ÁÖ¸ñÇÏ°í ÀÖ´Ù. TSMC¿Í 3³ª³ë °øÁ¤ °³¹ß°ú ¾ç»êÀ» µÎ°í Ä¡¿ÇÏ°Ô °æÀïÇÏ´Â »óȲ¿¡¼ »ï¼ºÀüÀÚ°¡ ½ÃÀå ÁÖµµ±ÇÀ» ¼±Á¡ÇÏ°Ú´Ù´Â ÀÇÁö¸¦ °ÇÏ°Ô µå·¯³Â´Ù´Â Æò°¡´Ù.
Àü¹®°¡µéÀº 3³ª³ë °øÁ¤ÀÌ ÆÄ¿îµå¸® ½ÃÀåÀÇ ºÐ±âÁ¡ÀÌ µÉ °¡´É¼ºÀÌ ³ô´Ù°í º»´Ù. TSMC´Â ³»³â 7¿ù ÇÉÆê(FinFET) ±â¼úÀ» È°¿ëÇØ ¾÷°è ÃÖÃÊ·Î 3³ª³ë ¹ÝµµÃ¼ ¾ç»ê¿¡ µé¾î°£´Ù´Â °èȹÀÌ°í, »ï¼ºÀüÀÚ´Â GAA ±â¼ú·Î ½ÂºÎ¸¦ º¼ Àü·«ÀÌ´Ù.